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產品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應用領域 | 綜合 |
螺桿式真空泵是一種真空泵，其中泵殼中的螺桿轉子將流體引導到網狀間隙中并旋轉它以沿軸向連續(xù)移動流體。
產品介紹
ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 MS120A
ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 MS120A
螺桿式真空泵是一種真空泵，其中泵殼中的螺桿轉子將流體引導到網狀間隙中并旋轉它以沿軸向連續(xù)移動流體。
“Model：MS" 是被歸類為螺桿式干式真空泵的真空泵。 這是一種基于傳統(tǒng)“Model：LS"的耐過程性干式真空泵，具有更高的耐腐蝕性和粉末排出性。 它設計用于具有腐蝕性氣體和粉末排放的真空過程。
長處
通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊表面處理，實現(xiàn)了高耐腐蝕性。
螺旋式轉子軸具有 ULVAC 設計，可實現(xiàn)高粉末排放。
可在從大氣壓到極限壓力的整個壓力范圍內連續(xù)運行。
用
電子元件和半導體制造設備、
蝕刻設備、灰化設備、等離子清洗設備等的真空排氣系統(tǒng)
真空熱處理爐、
燒結爐、滲碳爐等的真空排氣系統(tǒng)
鋰電池制造設備、
電極干燥設備、消泡設備、注液設備等的真空排氣系統(tǒng)。
醫(yī)療和食品相關設備的真空排氣系統(tǒng)、
冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
| 型 | MS120A 系列 | MS600A 系列 | MS1200A | |
| 最大抽速 *1 | m3/小時 | 115 | 560 | 980 |
| 極限壓力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源電壓 | 三相，50/60Hz，AC200-240V±10% 或 三相，50/60Hz，AC380-480V±10% | |||
| 近似功耗 *2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
| 吹掃氣體量 *1 | SLM 系列 | 0~50 | ||
| 最大水蒸氣吞吐量 *1*3 | 公斤/小時 | 1.5 | ||
| 噪音水平 *2 | 分貝（A） | 61 | 62 | 64 |
| 進氣口 | KF50 （水平） / VG50 （垂直） | ISO-F-80 認證 | ISO-F-100 認證 | |
| 排氣口 | 肯氟烴40 | |||
| 重量*4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 法規(guī)遵從性 | CE、cTUVus | |||
| 標準配件 | 快速手冊、電源連接器、防水電纜夾、信號連接器、電源連接器防護罩、專用消音器 1 套 | |||
| 主機選項 | 電源電壓：200 V 級或 400 V 級 密封材料：氟橡膠 （FKM） 或全氟彈性體 （FFKM） | |||
| 外部選項 | 外殼排氣口、抗震裝置、LR 兼容單元（進氣口、信號）、吹掃氣體閥 | |||
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